SJ 20842-2002 砷化镓表面砷镓比的测试方法
作者:标准资料网
时间:2024-05-20 22:03:05
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基本信息
| 标准名称： | 砷化镓表面砷镓比的测试方法 |
| 英文名称： | Test method for Ga/As ratio of surface of gallium arsenide |
| 中标分类： | |
| 发布日期： | 2002-10-30 |
| 实施日期： | 2003-03-01 |
| 首发日期： | 1900-01-01 |
| 作废日期： | 1900-01-01 |
| 起草单位： | 中国电子科技集团公司第四十六所 |
| 出版社： | 工业电子出版社 |
| 出版日期： | 2004-04-19 |
| 页数： | 5页 |
适用范围
本标准规定了砷化镓材料表面镓砷比的X射线光电子能谱的试验方法。本标准适用于监测砷化镓器件制造过程中各种表面处理对砷化镓晶片表面镓砷比的影响，也适用于晶片加工中的各种表面处理。
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